Sau đó, ở nước Hán hình thành thêm một cấp hành chính trên cấp quận gọi là Châu và từ năm 106 tr.CN trở đi, miền đất thuộc Nam Việt cũ được đặt thành châu Giao Chỉ, trụ sở đặt ở quận Giao Chỉ là quận lớn nhất và quan trọng nhất. Đứng đầu cấp Châu là chức Thứ Sử, đứng đầu mỗi quận là một viên thái thú chủ yếu quản lí về hành chính, dân sự, giúp việc cho thái thú có Đô Uý chỉ huy quân sự. Dưới cấp quận là cấp huyện (từ cấp bộ đổi thành).(1) Các lạc tướng vẫn nắm quyền cai trị, cha truyền con nối nhưng được đổi gọi là huyện lệnh. Như vậy, so với nhà Triệu, nhà Hán đã tiến thêm một bước trong việc tổ chức bộ máy đô hộ: Bộ máy chính quyền đô hộ đã cai trị trực tiếp ở châu, quận và thứ sử, thái thú là các quan cai trị chứ không chỉ là sứ giả như trước đây. Tuy nhiên, từ cấp huyện trở xuống về cơ bản chưa có gì thay đổi. Những năm đầu công nguyên, triều đình phong kiến phương Bắc rối loạn. Vương Mãng cướp ngôi nhà Tây Hán lập ra nhà Tấn (8 – 23). Trong 15 năm đó, quan lại nhà Tây Hán ở Châu Giao Chỉ hầu như trở thành một chính quyền cát cứ và bộ máy cai trị không có gì thay đổi.
