Một số loài vi sinh vật có hô hấp vi hiếu khí, đó là các loài sinh vật vi hiếu khí. Đặc điểm của nhóm này là chúng cần oxi để sống, nhưng sẽ không tồn tại được nếu hàm lượng oxi cao quá mức cho phép. Với nồng độ oxi trong khí quyển thông thường, khoảng 21% vi sinh vật sẽ không tồn tại được. Chúng tồn tại ở mức oxi dao động khoảng 2 - 10%
