Phân tích đa thức thành nhân tử

1. \(5x^2-10xy+5y^2-20z^2\)

2.\(16x-5x^2-3\)

3. \(x^2-5x+5y-y^2\)

4. \(3x^2-6xy+3y^2-12z^2\)

5. \(x^2+4x+3\)

6. \(\left(x^2+1\right)^2-4x^2\)

7. \(x^2-4x-5\)